Кварц вафель субстрат
Кварц хавтанцар нь хагас дамжуулагч, оптоэлектроник, микро{1}}цахилгаан механик систем (MEMS), оптик төхөөрөмж болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг өндөр{0}}цэвэршилттэй кварцаас (SiO₂) хийсэн вафель юм.
Тодорхойлолт
Материалын шинж чанар
- Өндөр цэвэршилт:Ихэвчлэн нийлэг кварцаар (жишээ нь, хайлсан цахиур) хийсэн бөгөөд төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлөхгүйн тулд маш өндөр цэвэршилттэй (99.99% -иас их буюу тэнцүү), хамгийн бага хольцтой.
- Дулааны тогтвортой байдал:Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент (≈0.55×10⁻⁶/ градус) ба өндөр-температурын эсэргүүцэл (зөөлрөх цэг ~1600 градус), өндөр температурт ажиллахад тохиромжтой.
- Оптик гүйцэтгэл:Хэт ягаан туяанаас хэт ягаан туяаг нэвтрүүлэх өргөн хүрээтэй, хэт ягаан туяаг нэвтрүүлэх чадвар нь гэрэл зургийн маск, линз гэх мэтэд тохиромжтой.
- Химийн идэвхгүй байдал:Нойтон сийлбэрлэх процесст тохиромжтой хүчил ба шүлтэнд тэсвэртэй (фторын уснаас бусад).
- Цахилгаан тусгаарлагч:High resistivity (>10¹⁶ Ω·см), тусгаарлагч субстрат эсвэл өндөр{1}}давтамжтай төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
- Фото маск субстрат
- EUV литографийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
- Өргөст цаас боловсруулах зөөгч
Фотоник ба оптоэлектроник
- Оптик долгион хөтлүүрийн субстрат
- Лазер диод суурилуулах
- Квантын тооцооллын бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Тусгай програмууд
- MEMS резонаторын суурь
- Сансрын дурангийн оптик
- Өндөр-эрчим хүчний лазер систем
Үйлдвэрлэлийн процесс
- Түүхий эдийн синтез:Уур хуримтлуулах (жишээ нь, SiCl₄ исэлдэлт) эсвэл байгалийн кварцыг цэвэршүүлэх замаар үйлдвэрлэдэг.
- Хайлуулах, бүрдүүлэх:Өндөр{0}}температурт хайлж, дараа нь ембүү болгон хөргөх эсвэл саваа руу шууд татах.
- Зүсэх:Алмазан утсан хөрөө эсвэл лазер зүсэлт ашиглан нимгэн өргүүр болгон хэрчсэн.
- Нунтаглах, өнгөлөх:Химийн механик өнгөлгөө (CMP) нь нанометрийн{0}}төвшинд гөлгөр болгодог.
- Цэвэрлэгээ ба үзлэг:Бөөмийн тоосонцор болон металлын бохирдуулагчийг зайлуулж, дараа нь согог, параметрийн туршилтыг хийнэ.
Үл хөдлөх хөрөнгө
|
Физик шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Цэвэр байдал |
＞99.99% |
|
Нягт |
2.2г/см3 |
|
Ил тод байдал |
＞90% |
|
Mohs хатуулаг |
5.5--6.5 |
|
Деформацийн цэг |
1280 градус |
|
Зөөлрүүлэх цэг |
1750 градус |
|
Хатаах цэг |
1250 градус |
|
Хувийн дулаан (20 - 350 градус) |
670Ж/кг. зэрэг |
|
Дулаан дамжуулалт (20 градус) |
1.4Вт/м. зэрэг |
|
Дулаан дамжуулалт (w/mk,1000 градус) |
1.0-1.2 |
|
Хугарлын индекс |
1.4585 |
|
Дулааны тэлэлтийн коэффициент |
5.510 -7см/см. зэрэг |
|
Халуун - ажлын температур |
1750-2050 градус |
|
Богино - хугацааны үйлчилгээний температур |
1450 градус |
|
Удаан хугацааны - үйлчилгээний температур |
1100 градус |
|
Химийн шинж чанар |
Үнэ цэнэ |
|
Хүчилд тэсвэртэй |
Хүчтэй хүчил (ЭМС-ээс бусад), Хүчтэй шүлтлэг, органик уусмал |
|
Өндөр температур Зэврэлтэнд тэсвэртэй |
Маш сайн |
|
Металлын хольцын агууламж |
＜5 ppm |
|
Цахилгаан шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Эсэргүүцэл |
7107Ω.см |
|
Тусгаарлагчийн бат бэх |
250~400Кв/см |
|
Диэлектрик тогтмол |
3.7~3.9 |
|
Диэлектрик шингээлтийн коэффициент |
＜410-4 |
|
Диэлектрик алдагдлын коэффициент |
＜110-4 |
|
Механик шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Шахалтын хүч |
1100 МПа |
|
Гулзайлтын хүч |
67 МПа |
|
Суналтын бат бэх |
48 МПа |
|
Пуассоны харьцаа |
0.14~0.17 |
|
Янгийн модуль |
72000 МПа |
|
Шилжилтийн модуль |
31000 МПа |
Түгээмэл асуулт
Асуулт 1: Кварцын хавтангийн хамгийн дээд хэмжээ хэд вэ?
Х: 300 мм хүртэл диаметртэй стандарт үйлдвэрлэл, 450 мм-ийн прототипийг судалгаа шинжилгээнд ашиглах боломжтой.
А2: Та тохируулсан зузаан профайлыг өгч чадах уу?
Х: Тиймээ - бид дараахыг үйлдвэрлэх боломжтой:
- Шаантаг өргүүр (лазер програмуудад зориулсан)
- Нарийвчилсан шовгор загвар
- Меса{1}}бүтэцтэй гадаргуу
Асуулт 3: Та ямар цэвэрлэгээний протоколыг санал болгож байна вэ?
Х: Стандарт RCA цэвэрлэх үйл явц:
1. Органик зайлуулах (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Ионы цэвэрлэгээ (HCl:H₂O₂)
3. HF-гидрофиль гадаргуутай
Халуун Сэдвүүд: кварц өрмөнцөр субстрат, Хятад кварц өрмөнцөр субстрат үйлдвэрлэгчид, ханган нийлүүлэгчид, үйлдвэр
Лавлагаа илгээх
Танд бас таалагдах байх
