
Кварц вафель субстрат
Кварц хавтанцар нь хагас дамжуулагч, оптоэлектроник, микро{1}}цахилгаан механик систем (MEMS), оптик төхөөрөмж болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг өндөр{0}}цэвэршилттэй кварцаас (SiO₂) хийсэн вафель юм. Доорх нь кварцын вафель субстратын дэлгэрэнгүй танилцуулга юм
Тодорхойлолт
Материалын шинж чанар
(1) Өндөр цэвэршилт: Ихэвчлэн нийлэг кварцаар (жишээ нь, хайлсан цахиур) хийсэн бөгөөд төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлөхгүйн тулд маш өндөр цэвэршилттэй (99.99% -иас их буюу тэнцүү), хамгийн бага хольцтой.
(2) Дулааны тогтвортой байдал: Дулааны тэлэлтийн бага илтгэлцүүр (≈0.55×10⁻⁶/ градус) ба өндөр-температурын эсэргүүцэл (зөөлрөх цэг ~1600 градус) бөгөөд өндөр температурт ажиллахад тохиромжтой.
(3) Оптик гүйцэтгэл: Өргөн хүрээний дамжуулалт (хэт ягаан туяанаас IR), онцгой хэт ягаан туяаны дамжуулалттай, фото маск, линз гэх мэтэд тохиромжтой.
(4) Химийн идэвхгүй байдал: Хүчил ба шүлтэнд тэсвэртэй (фторын хүчлээс бусад), нойтон сийлбэр хийхэд тохиромжтой.
(5) Electrical Insulation : High resistivity (>10¹⁶ Ω·см), тусгаарлагч дэвсгэр эсвэл өндөр{1}}давтамжтай төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Хэрэглээ
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
Фото маскны субстрат
EUV литографийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Вафель боловсруулах тээвэрлэгчид
Фотоник ба оптоэлектроник
Оптик долгион хөтлүүрийн субстрат
Лазер диод суурилуулах
Квантын тооцооллын бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Тусгай програмууд
MEMS резонаторын суурь
Сансрын дурангийн оптик
Өндөр{0}}эрчим хүчний лазер систем
Үйлдвэрлэлийн процесс
① Түүхий эд материалын нийлэгжилт: Уур хуримтлуулах (жишээ нь, SiCl₄ исэлдэлт) эсвэл байгалийн кварцыг цэвэршүүлэх замаар үйлдвэрлэдэг.
② Хайлуулах ба хэлбэржүүлэх : Өндөр температурт хайлуулах, дараа нь ембүү болгон хөргөх эсвэл саваа руу шууд татах.
③ Зүсэх: Алмазан утсан хөрөө эсвэл лазер зүсэлт ашиглан нимгэн өрөм болгон хэрчсэн.
④ Нунтаглах, өнгөлөх : Химийн механик өнгөлгөө (CMP) нь нанометрийн-төвшний жигд байдлыг хангана.
⑤ Цэвэрлэх, шалгах: Бөөмс болон металл бохирдуулагчийг зайлуулж, дараа нь согог болон параметрийн туршилт.
Үл хөдлөх хөрөнгө
|
Физик шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Цэвэр байдал |
>99.99% |
|
Нягт |
2.2 г/см3 |
|
Ил тод байдал |
>90% |
|
Mohs хатуулаг |
5.5--6.5 |
|
Деформацийн цэг |
1280 градус |
|
Зөөлрүүлэх цэг |
1750 градус |
|
Хатаах цэг |
1250 градус |
|
Хувийн дулаан (20 - 350 градус) |
670Ж/кг. зэрэг |
|
Дулаан дамжуулалт (20 градус) |
1.4Вт/м. зэрэг |
|
Дулаан дамжуулалт (w/mk,1000 градус) |
1.0-1.2 |
|
Хугарлын индекс |
1.4585 |
|
Дулааны тэлэлтийн коэффициент |
5.510 -7см/см. зэрэг |
|
Халуун - ажлын температур |
1750-2050 градус |
|
Богино - хугацааны үйлчилгээний температур |
1450 градус |
|
Удаан хугацааны - үйлчилгээний температур |
1100 градус |
|
Химийн шинж чанар |
Үнэ цэнэ |
|
Хүчилд тэсвэртэй |
Хүчтэй хүчил (ЭМС-ээс бусад), Хүчтэй шүлт, органик уусмал |
|
Өндөр температур Зэврэлтэнд тэсвэртэй |
Маш сайн |
|
Металлын хольцын агууламж |
<5 ppm |
|
Цахилгаан шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Эсэргүүцэл |
7107Ω.см |
|
Тусгаарлагчийн бат бэх |
250~400Кв/см |
|
Диэлектрик тогтмол |
3.7~3.9 |
|
Диэлектрик шингээлтийн коэффициент |
<410-4 |
|
Диэлектрик алдагдлын коэффициент |
<110-4 |
|
Механик шинж чанарууд |
Үнэ цэнэ |
|
Шахалтын хүч |
1100 МПа |
|
Гулзайлтын хүч |
67 МПа |
|
Суналтын бат бэх |
48 МПа |
|
Пуассоны харьцаа |
0.14~0.17 |
|
Янгийн модуль |
72000 МПа |
|
Шилжилтийн модуль |
31000 МПа |
Яагаад биднийг сонгох вэ:
Тохируулга:
Бүтээгдэхүүнээ өөрийн шаардлагад нийцүүлэн тохируулаарай
24 Онлайн үйлчилгээ:
Санал хүсэлтээ цаг тухайд нь боловсруул

Өрсөлдөхүйц үнэ:
Үйлдвэрийн үнэ, гэхдээ өндөр чанартай-
Дэлхийн тээвэрлэлт:
Хаалганаас-хүргэх-
Түгээмэл асуулт
Асуулт 1: Кварцын хавтангийн хамгийн дээд хэмжээ хэд вэ?
Х: 300 мм хүртэл диаметртэй стандарт үйлдвэрлэл, 450 мм прототипийг R&D хийх боломжтой.
А2: Та тохируулсан зузаан профайлыг өгч чадах уу?
Х: Тийм ээ, бид дараахь зүйлийг үйлдвэрлэх боломжтой.
Шаантаг хавтан (лазер хэрэглээнд зориулагдсан)
Нарийвчилсан шовгор загварууд
Меса{0}}бүтэцтэй гадаргуу
Асуулт 3: Та ямар цэвэрлэгээний протоколыг санал болгож байна вэ?
Х: Стандарт RCA цэвэрлэх үйл явц:
1. Органик зайлуулах (H₂SO₄: H₂O₂)
2. Ионы цэвэрлэгээ (HCl: H₂O₂)
3. HF-гидрофиль гадаргуутай
Халуун Сэдвүүд: кварц өрмөнцөр субстрат, Хятад кварц өрмөнцөр субстрат үйлдвэрлэгчид, ханган нийлүүлэгчид, үйлдвэр
Лавлагаа илгээх
Танд бас таалагдах байх







